LEDinside《Micro LED前瞻技術》:QMAT改良基板提升制程效率

作者 | 發(fā)布日期 2018 年 11 月 19 日 11:49 | 分類 Micro LED

LEDinside Micro LED前瞻技術論文征集比賽中,各家廠商跟學者都針對Micro LED技術發(fā)展的不同面向提出解決方法。除了巨量轉(zhuǎn)移與全彩化的技術外,Micro LED的背板也是技術突破的重要關鍵。

獲得優(yōu)選的美國新創(chuàng)公司QMAT,便聚焦于Micro LED的基板技術。其獲選論文Engineered Substrates for High Efficiency Micro LEDs and Commercialized High Volume Manufacturing Production指出其EpiMax基板制造技術,能有效率提升Micro LED的制作效率,減少有機金屬化學氣相沉積法(MOCVD, Metal-organic Chemical Vapor Deposition)的作用時間,并強化Micro LED的制造質(zhì)量及效率,加速商業(yè)化進程。

論文作者: Philip Ong, QMAT

論文作者:Dong Lee, QMAT

QMAT的論文強調(diào),使用氮化鎵GaN作為MOCVD的基礎層,能夠強化設備的作用效率,并減少電流密度操作點的變異性。此外,QMAT的層次轉(zhuǎn)移技術,能將目標基板設計成跟磊芯片轉(zhuǎn)移前的基板一樣,因此磊芯片能夠被充分利用。

來源: QMAT

QMAT基板技術的優(yōu)勢在于能夠強化設備性能,降低基板成本,還能減少MOCVD作用時間。同時,基板本身可以直接做為轉(zhuǎn)移底座,并且整合雷射剝離技術層(Laser-Lift-Off)進行后續(xù)切除。

針對QMAT所提出的基板技術,交通大學光電研究所的評審認為,QMAT的EpiMax基板能夠直接用于測試跟轉(zhuǎn)印的設計,在Micro LED制程上相當具有優(yōu)勢。而臺灣地區(qū)工研院CIMS聯(lián)盟則認為,QMAT的基板能用于雷射剝離技術,降低LED晶粒的缺陷,有助于后續(xù)制程。

原文:Engineered Substrates for High Efficiency Micro LEDs and Commercialized High Volume Manufacturing Production

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