近期我國多家企業(yè)在碳化硅設備領域取得了顯著進展,推動了我國在第三代半導體材料裝備制造方面的自主創(chuàng)新能力。
其中,晶馳機電成功開發(fā)出電阻法12英寸碳化硅晶體生長設備,實現了同一爐臺8英寸和12英寸碳化硅單晶的穩(wěn)定量產;山西天成的12英寸碳化硅長晶爐也已進入爐體組裝和工藝調試階段,計...  [詳內文]
12英寸碳化硅設備,三家企業(yè)實現突破! |
作者
KikiWang
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發(fā)布日期:
2025 年 04 月 14 日 13:41
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關鍵字:
SiC碳化硅
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