7月16日,微導納米發(fā)布官方消息,公司的首臺半導體CVD薄膜沉積設備順利發(fā)貨。微導納米的iTronix?系列CVD薄膜沉積設備,主要用于制備氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、非晶硅等不同種類薄膜,可應用于邏輯、存儲、先進封裝、顯示器件以及化合物半導體等領域芯片制造。
CVD設備需求提升...  [詳內(nèi)文]
又一公司CVD設備發(fā)貨,國產(chǎn)化到哪步了? |
作者 chen, janice | 發(fā)布日期: 2023 年 07 月 17 日 17:46 | | 分類: 碳化硅SiC |