瑤光半導(dǎo)體激光退火設(shè)備順利驗(yàn)收 據(jù)瑤光半導(dǎo)體官微消息，近日，瑤光半導(dǎo)體激光退火設(shè)備順利通過(guò)驗(yàn)收。 該設(shè)備已在客戶(hù)新產(chǎn)線(xiàn)投入生產(chǎn)使用，該產(chǎn)線(xiàn)計(jì)劃年產(chǎn)一億顆功率芯片和1萬(wàn)片6英寸SiC外延片，同時(shí)包括“10萬(wàn)片SiC外延片及JBS、MOSFET功率集成電路”。 據(jù)官微介紹，瑤光半導(dǎo)體...  [詳內(nèi)文]