昨日,晶盛機(jī)電表示已于近日成功研發(fā)出具有國(guó)際先進(jìn)水平的8英寸單片式碳化硅外延生長(zhǎng)設(shè)備。
圖片來(lái)源:晶盛機(jī)電
8英寸碳化硅晶圓的邊緣損耗更小、可利用面積更大,未來(lái)通過(guò)產(chǎn)量和規(guī)模效益的提升,成本有望降低60%以上。為未來(lái)碳化硅材料大規(guī)模應(yīng)用提供低成本的先決條件。
晶盛機(jī)電稱,8英寸...  [詳內(nèi)文]
國(guó)產(chǎn)8英寸SiC設(shè)備獲重大突破 |
作者 huang, Mia|發(fā)布日期 2023 年 06 月 28 日 17:11 | 分類 碳化硅SiC |